Les moteurs linéaires sont-ils adaptés aux chambres propres?

Les moteurs linéaires conviennent plus aux pièces propres que les modules linéaires entraînés par vis à billes. De nombreuses applications semi-conductrices frontales utilisent des moteurs linéaires. Dans les usines de fabrication de plaquettes, les machines de lithographie de haute précision sont placées dans des salles blanches de classe 10, où les moteurs linéaires sont appliqués aux plates-formes de positionnement XY qui utilisent une résolution nanométrique pour atteindre la précision du submicron.

Les moteurs linéaires sont également utilisés dans d'autres champs, l'emballage arrière des semi-conducteurs, les tests, l'assemblage et les tests de disques durs et d'autres applications. Dans la salle blanche, par rapport à l'entraînement à vis à billes traditionnel, car le mécanisme d'entraînement du moteur linéaire n'a pas de contact direct, il n'y a pas d'usure entraînant une génération de particules, le moteur linéaire convient à la salle propre.